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RFA自动散热膜贴附机

发布时间：

2025-12-10 16:01

项目

规格参数
产品尺寸

5″-12″ 

生产形态 

CG与散热膜贴附 

机台精度

2D ±100um，3D ±150um

设备TT

2D平面贴付≤3.5s，3D曲面贴付≤4.5s  

机台尺寸

L*W*H=9500*3600mm*2400mm(不含EFU、报警灯高度) 

对接参数 

Pass line 1050±50mm 

定位方式

CG、散热膜CCD拍照校正 

使用环境 

洁净无尘室 温度：23℃±5℃，湿度：60%±15% 

设备优点

  1    上下料Robot配备四轴机器人（臂展700mm） ，真空吸嘴
2  覆膜平台配备USC清洁机构，有效去除异物，提高生产良率
3  中转平台：CG平台，无痕吸嘴真空吸附，对中基准
4  撕膜及搬运Robot配备六轴机器人 ，适应3-8寸产品，取单片成功率≥99.5% 
5  配备USC清洁机构，有效去除异物，提高生产良率
6  采用高分辨率CCD相机，贴附精度高
7  Mark识别方案，Mark点角度在0°≤θ≤50°时，选用同轴及面光源补光的打光方式来满足各角度要求

8

  来料检测，50μm≦异物尺寸<100μm，95%检出； 异物尺寸 ≥100μm，100%检出

9

  成品下料凹痕检测，50μm≦凹痕尺寸<100μm，95%检出； 凹痕尺寸 ≥100μm，100%检出
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