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UM系列定位工作台
发布时间：
2022-08-15 08:59
| 型号 |
|
型号 |
持续推力(N) |
峰值推力(N) |
最大可搬质量 |
有效行程(角度) |
分辨率 |
最大速度 |
重复定位精度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
UM120-01X01YR-3 |
15 |
80 |
5.9kg |
20mm |
0.1μm |
0.1μm |
±5μm |
|
UM200-01X01YR-3 |
80 |
400 |
30kg |
25mm |
0.1μm |
0.1μm |
±5μm |
| 命名规则 |
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